Mandril de vácuo cerâmico SiC para wafer

O mandril a vácuo de cerâmica Veteksemicon sic para wafer é um componente central desenvolvido especificamente para a fabricação de semicondutores de terceira geração, otimizado para ambientes de processamento de alta temperatura e alta pressão experimentados por wafers. Feitos de materiais cerâmicos de alta pureza, usinagem de precisão e tratamento de superfície especializado garantem desempenho estável de retenção de vácuo e excelente estabilidade térmica no exigente processo de fabricação de semicondutores. Nossos mandris a vácuo foram comprovados em campo por centenas de fabricantes de semicondutores, demonstrando excelente desempenho em processos críticos, como epitaxia de SiC, implantação de íons e fotolitografia. Eles resolvem efetivamente problemas de empenamento do wafer e precisão de posicionamento causados ​​pela alta dureza do material e altas temperaturas do processo.

Informações gerais do produto

Termos comerciais do produto

Aplicativo: O mandril a vácuo de cerâmica Veteksemicon para wafer é feito de materiais cerâmicos de alto desempenho e usinado com precisão para garantir uma superfície ultraplana e excelente estabilidade térmica. Ele fornece soluções confiáveis ​​de adsorção de wafer e controle de temperatura para processos como crescimento epitaxial, implantação iônica e fotolitografia, melhorando efetivamente o rendimento do processo e a eficiência da produção.

Serviços que podem ser fornecidos: análise de cenário de aplicação do cliente, correspondência de materiais, solução de problemas técnicos.

Perfil de companhia：A Veteksemicon possui 2 laboratórios, uma equipe de especialistas com 20 anos de experiência em materiais, com P&D e capacidade de produção, teste e verificação.

Mandril de vácuo de cerâmica Veteksemicon para vantagens do núcleo de wafer

 ● Avanço na ciência dos materiais

A Veteksemicon utiliza uma formulação de material exclusiva e um processo de sinterização para aumentar significativamente a resistência mecânica e a estabilidade térmica de seus produtos, ao mesmo tempo que mantém as excelentes propriedades de isolamento dos materiais cerâmicos. Nossas cerâmicas à base de alumina utilizam matérias-primas de alta pureza e uma formulação especial de aditivos, garantindo excelente estabilidade dimensional mesmo em ambientes de alta temperatura. Nossas cerâmicas à base de carboneto de silício, por meio de um processo de sinterização otimizado, alcançam maior condutividade térmica e melhor correspondência térmica, tornando-as particularmente adequadas para processamento de wafer de SiC em alta temperatura.

 ● Excelente desempenho de gerenciamento térmico

Nosso exclusivo design multicamadas e usinagem de precisão garantem que o mandril mantenha excelente uniformidade térmica mesmo sob condições operacionais de alta temperatura. O mandril de carboneto de silício possui uma condutividade térmica superior a 200W/m·K, permitindo rápido equilíbrio de temperatura e mantendo variações de temperatura da superfície do wafer dentro de ±0,8°C. Esta capacidade superior de gerenciamento térmico evita efetivamente defeitos de processo causados ​​por variações de temperatura e melhora significativamente o rendimento do produto.

● Tecnologia de usinagem de ultraprecisão

A Veteksemicon possui centros de usinagem de precisão líderes na China, utilizando processos exclusivos de retificação e polimento para obter planicidade de superfície submícron. Nossos mandris de carboneto de silício alcançam planicidade de superfície dentro de 0,8 μm, com um valor Ra de rugosidade superficial de não mais que 0,1 μm. Essa qualidade de superfície de ultraprecisão garante um ajuste perfeito entre o wafer e o mandril, fornecendo uma referência plana confiável para processos de precisão, como fotolitografia.

● Maior vida útil

Através de formulações de materiais otimizadas e design estrutural reforçado, nossos produtos têm uma vida útil superior a 40% em comparação aos produtos tradicionais. Tecnologias especiais de reforço de bordas e revestimento de superfície permitem que nossos produtos resistam a operações frequentes de fixação e limpeza. Os produtos à base de alumina têm garantia de operação mais de 200.000 vezes, enquanto os produtos à base de carboneto de silício podem atingir mais de 500.000 ciclos, reduzindo significativamente os custos operacionais para nossos clientes.

● Endosso de verificação de cadeia ecológica

O mandril a vácuo de cerâmica Veteksemicon para verificação da cadeia ecológica de wafer cobre matérias-primas para produção, passou pela certificação de padrão internacional e possui uma série de tecnologias patenteadas para garantir sua confiabilidade e sustentabilidade nos campos de semicondutores e novas energias.

Para especificações técnicas detalhadas, white papers ou arranjos de testes de amostra, por favorentre em contato com nossa equipe de suporte técnicopara explorar como a Veteksemicon pode melhorar a eficiência do seu processo.