Alumina vácuo de cerâmica

O vácuo de cerâmica de alumina Chuck é um suporte de bolacha para processos epitaxiais no processamento de semicondutores. É uma ferramenta essencial para estabilizar as bolachas e garantir um crescimento uniforme de camadas epitaxiais. É amplamente utilizado em equipamentos epitaxiais, comoMOCVDeLPCVD.

O vácuo de cerâmica de alumina vetek semicondutores desempenha um papel vital nos estágios de desbaste e trituração de bolacha da fabricação de semicondutores. Esses estágios envolvem reduzir com precisão a espessura dosubstrato de bolachaPara aprimorar a dissipação de calor dos chips, essencial para melhorar a eficiência e a vida dos dispositivos semicondutores.

Compatível com vários tamanhos de bolacha: O Chuck de vácuo de cerâmica de alumina de semicondutores vetek foi projetado para suportar uma ampla gama de tamanhos de wafer, incluindo 2, 3, 4, 5, 6, 8 e 12 polegadas. Essa adaptabilidade o torna adequado para uma variedade de ambientes de produção de semicondutores, garantindo um desempenho consistente e confiável em diferentes tamanhos de wafer.

Composição de material superior: A base do vácuo de cerâmica de alumina é feita de alumina ultra-pura de 99,9999% (Al₂O₃), que oferece excelente resistência ao ataque químico e estabilidade térmica. A superfície do chuck é feita de porosocarboneto de silício (sic). O material cerâmico poroso possui uma estrutura densa e uniforme, que melhora sua durabilidade e desempenho.

Benefícios deTecnologia de cerâmica porosa：

Pureza e durabilidade do material: Feito de alumina pura de 99,99%, nosso vácuo de cerâmica de alumina resiste ao ataque químico e oferece excelente estabilidade térmica, tornando -o ideal para ambientes de fabricação extremamente exigentes.

Porosidade ideal e permeabilidade ao ar: Os microporos distribuídos uniformemente fornecem excelente permeabilidade ao ar e força de adsorção uniforme, resultando em operação suave e consistente.

Apatidão aprimorada e paralelismo: Os chucks de vácuo de cerâmica de alumina microporosa têm excelente planicidade e paralelismo, garantindo manuseio e estabilidade precisas da bolas.

Recursos de serviço personalizados: O veteksemi pode fornecer uma variedade de formas personalizáveis, incluindo projetos redondos, quadrados, anel e outros, com espessura variando de 3 a 10 mm. Essa personalização garante que nossos chucks de vácuo de cerâmica de alumina atendam às necessidades específicas de diferentes processos de fabricação de semicondutores e sejam definitivamente a sua escolha ideal.

O vetek semicondutor está comprometido em fornecer soluções avançadas de tecnologia e produto para a indústria de semicondutores, e esperamos sinceramente ser seu parceiro de longo prazo na China.

OFórmula química deCerâmica de Alumina：

É semicondutorAlumina Ceramic Vacuum Chuck Shops: