Cerâmica Avançada

A tela de quartzo de semicondutores veteksemicon é um componente vital nos sistemas de deposição de vapor químico orgânico (MOCVD), desempenhando um papel crucial na otimização de processos de crescimento de filmes finos. Esta página de detalhes do produto destaca as telas de quartzo de alta pureza da VetekSemicon, projetadas para aprimorar a uniformidade, pureza e eficiência de manutenção do equipamento MOCVD.

O cadinho de quartzo de alta pureza é o componente essencial do núcleo em processos avançados de fabricação de semicondutores, especialmente para aplicações que requerem estabilidade térmica extremamente alta, pureza química e precisão dimensional. O veteksemicon oferece cadios cadinhos de quartzo superior de alta pureza projetados para atender às demandas extremas dos processos de semicondutores.

O chuck poroso de cerâmica de SiC por veteksemicon é uma plataforma de vácuo de engenharia de precisão projetada para manuseio de bolacha seguro e sem partículas em processos avançados de semicondutores, como gravura, implante de íons, CMP e inspeção. Fabricado a partir de carboneto poroso de silício de alta pureza, oferece excelente condutividade térmica, resistência química e resistência mecânica. Com tamanhos e dimensões de poros personalizáveis, o VETEKSEMICON oferece soluções personalizadas para atender às demandas rigorosas dos ambientes de processamento de wafer de salas limpas.

Nossos barcos de wafer de quartzo são solução de transportador de wafer de alta pureza adaptada para processos de semicondutores, LED, células solares e fabricação de baterias. Projetado para suportar altas temperaturas e ambientes quimicamente agressivos, este barco de quartzo apresenta baixa expansão térmica, excelente isolamento elétrico e estabilidade dimensional a longo prazo. Ideal para processos de difusão, oxidação e LPCVD, ele suporta o alinhamento preciso da wafer e está disponível em vários tamanhos para atender aos diferentes requisitos de equipamento.

Nosso barco de quartzo de alta pureza é feito de quartzo fundido (conteúdo de SiO₂ ≥ 99,99%). Com sua excelente resistência a ambientes extremos, baixo coeficiente de expansão térmica e ciclo de vida longo, tornou -se uma chave insubstituível consumível nas indústrias de semicondutores e novas energia.

O anel de foco para a gravação é o componente principal para garantir a precisão e a estabilidade do processo. Esses componentes são montados com precisão em uma câmara de vácuo para obter usinagem uniforme de estruturas em nanoescala na superfície da wafer através do controle preciso da distribuição plasmática, temperatura da borda e uniformidade do campo elétrico.