Transportadora sólida de wafer

O portador sólido de wafer SiC é um componente fabricado para o ambiente de alta temperatura, alta pressão e corrosivo do processo epitaxial de semicondutores e é adequado para vários processos de fabricação de wafer com requisitos de alta pureza. 

O portador sólido de wafer SiC cobre a borda da bolacha, protege a bolacha e a posiciona com precisão, garantindo o crescimento de camadas epitaxiais de alta qualidade. Os materiais SiC são amplamente utilizados em processos como epitaxia da fase líquida (LPE), deposição de vapor químico (DCV) e deposição de vapor orgânico metálico (MOCVD) devido à sua excelente estabilidade térmica, resistência à corrosão e excelente condutividade térmica. O sólido portador de wafer SiC do vetek semicondutor foi verificado em vários ambientes severos e pode efetivamente garantir a estabilidade e a eficiência do processo de crescimento epitaxial da wafer.

O sólido transportador de wafer sicRecursos do produto

● Estabilidade de temperatura ultra-alta: Os portadores sólidos de wafer SiC podem permanecer estáveis ​​em temperaturas de até 1500 ° C e não são propensas a deformação ou rachadura.

● Excelente resistência à corrosão química: Utilizando materiais de carboneto de silício de alta pureza, ele pode resistir à corrosão de uma variedade de produtos químicos, incluindo ácidos fortes, alcalses fortes e gases corrosivos, prolongando a vida útil do transportador de wafer.

● Alta condutividade térmica: Os portadores sólidos de wafer de SiC têm excelente condutividade térmica e podem dispersar o calor de maneira rápida e uniforme durante o processo, ajudando a manter a estabilidade da temperatura da wafer e a melhorar a uniformidade e a qualidade da camada epitaxial.

● Low Particle Generation: Os materiais SiC têm uma característica natural de geração de partículas baixas, que reduz o risco de contaminação e pode atender aos requisitos rígidos da indústria de semicondutores para alta pureza.

Especificações técnicas:

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● Confiabilidade: Após testes rigorosos e verificação real dos clientes finais, ele pode fornecer suporte a longo prazo e estável em condições extremas e reduzir o risco de interrupção do processo.

● Materiais de alta qualidade: Feito de materiais SIC da mais alta qualidade, verifique se cada transportadora de wafer SiC sólida atende aos altos padrões do setor.

● Serviço de personalização: Apoie a personalização de várias especificações e requisitos técnicos para atender às necessidades específicas do processo.

Se você precisar de mais informações do produto ou fazer um pedido, entre em contato conosco. Forneceremos consulta e soluções profissionais com base em suas necessidades específicas para ajudá -lo a melhorar a eficiência da produção e reduzir os custos de manutenção.

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