Pá cantilever de carboneto de silício para processamento de wafer

Informações gerais do produto

Termos comerciais do produto

Aplicativo: As pás de SiC da Veteksemicon são componentes-chave na fabricação avançada de semicondutores, projetadas para processos essenciais, como epitaxia de dispositivos de energia de SiC, recozimento em alta temperatura e oxidação de porta para chips à base de silício.

Serviços que podem ser prestados: análise de cenário de aplicação do cliente, correspondência de materiais, solução de problemas técnicos.

Perfil de companhia:A Veteksemicon possui 2 laboratórios, uma equipe de especialistas com 20 anos de experiência em materiais, com P&D e capacidade de produção, teste e verificação.

Parâmetros Técnicos

Principais vantagens do Veteksemi SiC Paddles

 ● Pureza máxima, protegendo o rendimento dos cavacos

Utilizamos processos avançados para produzir matérias-primas de carboneto de silício, garantindo o mínimo de impurezas metálicas. As pás Veteksemi SiC suprimem efetivamente a precipitação de impurezas em ambientes de alta temperatura por longos períodos, evitando a contaminação de wafers sensíveis e garantindo uma produção de alto rendimento a partir da fonte.

● Excelente resistência ao calor para enfrentar desafios extremos

O próprio carboneto de silício possui propriedades de resistência a altas temperaturas que superam a maioria dos materiais cerâmicos. Nossas pás podem suportar facilmente temperaturas de processo de até 1600°C, têm um coeficiente de expansão térmica extremamente baixo e exibem excepcional resistência ao choque térmico durante repetidos ciclos rápidos de aquecimento e resfriamento, minimizando o risco de deformação e rachaduras e prolongando a vida útil.

● Resistência mecânica extraordinária para garantir uma transmissão estável

Com altíssima rigidez e dureza, mantém excelente estabilidade morfológica mesmo quando totalmente carregado com wafers. Isso garante o alinhamento preciso dos wafers durante a transferência automatizada, permitindo que entrem e saiam suavemente do forno, reduzindo o risco de quebra devido a vibração ou desvio.

● Excelente resistência à corrosão, vida útil prolongada

As pás VetekSemicon SiC exibem forte inércia química na presença de atmosferas corrosivas, como oxigênio e hidrogênio, comumente encontradas em processos de oxidação e difusão, com taxas de erosão superficial extremamente baixas. Isso garante dimensões e desempenho estáveis ​​durante o uso a longo prazo, reduzindo significativamente o custo geral de propriedade.

Principais campos de aplicação

Endosso de verificação de cadeia ecológica

A verificação da cadeia ecológica das pás Veteksemicon SiC abrange matérias-primas até a produção, passou pela certificação de padrão internacional e possui uma série de tecnologias patenteadas para garantir sua confiabilidade e sustentabilidade nos campos de semicondutores e novas energias.

Para especificações técnicas detalhadas, white papers ou arranjos de testes de amostra, entre em contato com nossa equipe de suporte técnico para explorar como a Veteksemicon pode melhorar a eficiência do seu processo.