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Então, cobre o suporte
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Então, cobre o suporte

O vetek semicondutor se concentra na pesquisa e desenvolvimento e industrialização do revestimento CVD SiC e revestimento TAC CVD. Tomando o susceptador de revestimento SiC como exemplo, o produto é altamente processado com alta precisão, revestimento dense de CVD SiC, resistência à alta temperatura e forte resistência à corrosão. Sua pergunta sobre nós é bem -vinda.

Você pode ter certeza de comprar susceptores de revestimento SIC de nossa fábrica. Como fabricante de revestimento CVD SiC, o vetek semicondutor gostaria de fornecer susceptores de revestimento SiC, que são feitos de susceptores de grafite de alta pureza e revestimento SiC (abaixo de 5ppm).


Na vetek semicondutores, especializamos -se em pesquisa, desenvolvimento e fabricação de tecnologia, oferecendo uma variedade de produtos avançados para a indústria. Nossa principal linha de produtos inclui revestimento CVD SiC+grafite de alta pureza, susceptador revestido com SiC, quartzo semicondutor, revestimento TAC CVD+grafite de alta pureza, feltro rígido e outros materiais.

Um de nossos principais produtos é o SiC Coating Susceptor, desenvolvido com tecnologia inovadora para atender aos requisitos rigorosos da produção epitaxial de wafer. As bolachas epitaxiais devem exibir distribuição apertada do comprimento de onda e baixos níveis de defeitos superficiais, tornando nosso suscetador de revestimento SiC um componente essencial para alcançar esses parâmetros cruciais.

Vantagens do nosso SiC Coating Susceptor:


Protection Proteção do material base: O revestimento CVD SiC atua como uma camada protetora durante o processo epitaxial, protegendo efetivamente o material base da erosão e danos causados ​​pelo ambiente externo. Essa medida de proteção estende muito a vida útil do equipamento.

✔ Excelente condutividade térmica: Nosso revestimento CVD SiC possui excelente condutividade térmica, transferindo o calor com eficiência do material base para a superfície do revestimento. Isso aumenta a eficiência do gerenciamento térmico durante a epitaxia, garantindo temperaturas operacionais ideais para o equipamento.

✔ Qualidade do filme melhorada: O revestimento CVD SiC fornece uma superfície plana e uniforme, criando uma base ideal para o crescimento do filme. Reduz defeitos resultantes da incompatibilidade da treliça, aprimora a cristalinidade e a qualidade do filme epitaxial e, finalmente, melhora seu desempenho e confiabilidade.


Escolha Susceptador de revestimento de semicondutores vetek para suas necessidades de produção epitaxial de wafer e se beneficie de proteção aprimorada, condutividade térmica superior e melhor qualidade do filme. Confie nas soluções inovadoras do vetek semicondutor para impulsionar seu sucesso na indústria de semicondutores.

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade Valor típico
Estrutura cristalina Policristalina da fase β da FCC, principalmente (111) orientada
Densidade SiC CVD 3,21 g/cm³
Dureza do revestimento sic cvd sic 2500 VICKERS DUÊNDA (500G CARRE
Tamanho de grão 2 ~ 10mm
Pureza química 99,99995%
Capacidade de calor 640 J · kg-1· K-1
Temperatura da sublimação 2700 ℃
Força de flexão 415 MPA RT 4 pontos
Módulo de Young 430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Condutividade térmica 300W · m-1· K-1
Expansão térmica (CTE) 4,5 × 10-6K-1

VETEKSEMI SIC SUSCTECTOR PRODUÇÃO SUSCTORS OBRAS:

SiC Coating Susceptor Production shops

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