Forno de oxidação e difusão

● Resistência a alta temperatura (até 1600 ℃)

● Excelente condutividade térmica e estabilidade térmica

● Boa resistência a corrosão química

● Baixo coeficiente de expansão térmica

● Alta força e dureza

● Longa vida útil

Nos fornos de oxidação e difusão, devido à presença de alta temperatura e gases corrosivos, muitos componentes requerem o uso de materiais de alta temperatura e corrosão, entre os quais o carboneto de silício (SIC) é uma escolha comumente usada. A seguir, são apresentados componentes comuns de carboneto de silício encontrados em fornos de oxidação e fornos de difusão:

● barco de wafer

O barco de bolacha de carboneto de silício é um recipiente usado para transportar bolachas de silício, que podem suportar altas temperaturas e não reagirão com as bolachas de silício.

● Tubo do forno

O tubo do forno é o componente central do forno de difusão, usado para acomodar as bolachas de silício e controlar o ambiente de reação. Os tubos do forno de carboneto de silício têm excelente desempenho de alta temperatura e resistência à corrosão.

● Placa do defletor

Usado para regular o fluxo de ar e a distribuição de temperatura dentro do forno

● Tubo de proteção de termopar

Usado para proteger a temperatura medindo termopares do contato direto com gases corrosivos.

● Paddle cantilever

As pás do cantilever de carboneto de silício são resistentes a alta temperatura e corrosão e são usadas para transportar barcos de silício ou barcos de quartzo que transportam bolachas de silício nos tubos do forno de difusão.

● Injetor de gás

Usado para introduzir o gás de reação no forno, ele precisa ser resistente a alta temperatura e corrosão.

● Transportador de barco

O portador de barcos de wafer de carboneto de silício é usado para consertar e suportar bolachas de silício, que têm vantagens como alta resistência, resistência à corrosão e boa estabilidade estrutural.

● Porta do forno

Revestimentos ou componentes de carboneto de silício também podem ser usados ​​no interior da porta do forno.

● Elemento de aquecimento

Os elementos de aquecimento do carboneto de silício são adequados para altas temperaturas, alta potência e podem aumentar rapidamente as temperaturas para mais de 1000 ℃.

● SiC Liner

Usado para proteger a parede interna dos tubos do forno, ele pode ajudar a reduzir a perda de energia térmica e suportar ambientes agressivos, como alta temperatura e alta pressão.