Forno de oxidação e difusão

Os fornos de oxidação e difusão são usados ​​em vários campos, como dispositivos semicondutores, dispositivos discretos, dispositivos optoeletrônicos, dispositivos eletrônicos de potência, células solares e fabricação de circuitos integrados em larga escala. Eles são utilizados para processos que incluem difusão, oxidação, recozimento, liga e sinterização de wafers.

A VeTek Semiconductor é um fabricante líder especializado na produção de grafite de alta pureza, carboneto de silício e componentes de quartzo em fornos de oxidação e difusão. Estamos comprometidos em fornecer componentes de forno de alta qualidade para as indústrias de semicondutores e fotovoltaicas e estamos na vanguarda da tecnologia de revestimento de superfície, como CVD-SiC, CVD-TaC, pirocarbono, etc.

As vantagens dos componentes de carboneto de silício VeTek Semiconductor:

Resistência a altas temperaturas (até 1600 ℃)

Excelente condutividade térmica e estabilidade térmica

Boa resistência à corrosão química

Baixo coeficiente de expansão térmica

Alta resistência e dureza

Longa vida útil

Em fornos de oxidação e difusão, devido à presença de gases corrosivos e de alta temperatura, muitos componentes requerem o uso de materiais resistentes a altas temperaturas e à corrosão, entre os quais o carboneto de silício (SiC) é uma escolha comumente utilizada. A seguir estão os componentes comuns de carboneto de silício encontrados em fornos de oxidação e fornos de difusão:

Barco de wafer

O barco wafer de carboneto de silício é um contêiner usado para transportar wafers de silício, que pode suportar altas temperaturas e não reage com wafers de silício.

Tubo do Forno

O tubo do forno é o componente principal do forno de difusão, usado para acomodar pastilhas de silício e controlar o ambiente de reação. Os tubos do forno de carboneto de silício têm excelente desempenho em alta temperatura e resistência à corrosão.

Placa Defletora

Usado para regular o fluxo de ar e a distribuição de temperatura dentro do forno

Tubo de proteção de termopar

Usado para proteger termopares de medição de temperatura do contato direto com gases corrosivos.

Remo cantilever

As pás cantilever de carboneto de silício são resistentes a altas temperaturas e corrosão e são usadas para transportar barcos de silício ou barcos de quartzo que transportam pastilhas de silício para os tubos do forno de difusão.

Injetor de gás

Usado para introduzir gás de reação no forno, precisa ser resistente a altas temperaturas e corrosão.

Porta-barcos

O porta-barcos de wafer de carboneto de silício é usado para fixar e suportar wafers de silício, que apresentam vantagens como alta resistência, resistência à corrosão e boa estabilidade estrutural.

Porta do Forno

Revestimentos ou componentes de carboneto de silício também podem ser usados ​​na parte interna da porta do forno.

Elemento de aquecimento

Os elementos de aquecimento de carboneto de silício são adequados para altas temperaturas, alta potência e podem aumentar rapidamente as temperaturas para mais de 1000 ℃.

Forro de SiC

Usado para proteger a parede interna dos tubos do forno, pode ajudar a reduzir a perda de energia térmica e suportar ambientes agressivos, como alta temperatura e alta pressão.