Gan Epitaxial Undertaker

O susceptador epitaxial de GaN foi projetado para o processo de crescimento epitaxial de nitreto de gálio (GaN) e é adequado para tecnologias epitaxiais avançadas, como deposição de vapor químico de alta temperatura (DCV) e deposição de vapor químico orgânico de metal (MOCVD). O susceptador é feito de materiais resistentes a alta pureza e alta temperatura para garantir uma excelente estabilidade em ambientes de alta temperatura e múltiplos a gás, atendendo aos requisitos de processo exigentes de dispositivos avançados de semicondutores, dispositivos de RF e campos LED.

Além disso, o Susceptador Epitaxial do VETEK SEMICONDUCOR tem os seguintes recursos do produto:

● Composição do material

Graphite de alta pureza: a grafite SGL é usada como substrato, com desempenho excelente e estável.

Revestimento de carboneto de silício: Fornece condutividade térmica extremamente alta, forte resistência a oxidação e resistência à corrosão química, adequadas para as necessidades de crescimento dos dispositivos GaN de alta potência. Ele mostra excelente durabilidade e vida útil longa em ambientes agressivos, como CVD e MOCVD de alta temperatura, o que pode reduzir significativamente os custos de produção e a frequência de manutenção.

● Personalização

Tamanho personalizado: o vetek semicondutor suporta serviço personalizado de acordo com as necessidades do cliente, o tamanho doempresárioe o orifício da wafer pode ser personalizado.

● Faixa de temperatura operacional

O susceptador epitaxial veteksemi gan pode suportar temperaturas de até 1200 ° C, garantindo uniformidade e estabilidade de alta temperatura.

● Equipamento aplicável

Nosso susceptador de Gan Epi é compatível com o mainstreamEquipamento MOCVDcomo Aixtron, Veeco, etc., adequado para alta precisãoProcesso epitaxial de Gan.

A Veteksemi sempre se comprometeu a fornecer aos clientes os produtos Susceptores mais adequados e excelentes e excelentes de Gan Epitaxial e espera se tornar seu parceiro de longo prazo. O vetek semicondutor fornece produtos e serviços profissionais para ajudá -lo a obter maiores resultados no setor de epitaxia.

Estrutura cristalina de filme sic cvd

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC

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