Anel com revestimento de forno vertical

Nos fornos verticais, o uso de anéis revestidos com SiC é uma solução comum, usada principalmente em processos de tratamento térmico de alta temperatura debolachas semicondutoras. Os anéis revestidos de SiC de forno vertical são componentes de alto desempenho e resistentes a altas temperaturas usados ​​para suportar ou proteger wafers para garantir a estabilidade e confiabilidade do processo.

As funções do anel revestido de SiC do forno vertical

● Funções

Papel de apoio. Usado para apoiar as bolachas para garantir sua estabilidade e posição precisa em fornos de alta temperatura.

●  Proteção contra corrosão

Evite que gases corrosivos ou produtos químicos corroam o material de base.

●  Reduzir a poluição

O revestimento SiC de alta pureza pode efetivamente impedir o derramamento de partículas e a contaminação por impureza para garantir a limpeza do processo.

●  Resistência a altas temperaturas

Mantém excelentes propriedades mecânicas e estabilidade dimensional em ambientes de alta temperatura (geralmente acima de 1000°C).

As características do anel revestido de SiC do forno vertical

●  Alta dureza e resistência

Os materiais de SiC têm excelente resistência mecânica e podem suportar tensões de alta temperatura no forno.

●  Boa estabilidade térmica

A alta condutividade térmica e o baixo coeficiente de expansão térmica do SiC ajudam a reduzir o estresse térmico.

●  Forte estabilidade química

Os revestimentos do SIC podem resistir à corrosão em ambientes oxidantes, ácidos ou alcalinos.

●  Baixo contaminação por partículas

A superfície lisa reduz a possibilidade de geração de partículas, o que é particularmente adequado para o ambiente ultralimpo da fabricação de semicondutores.

Utilizado para difusão, oxidação, recozimento e outros processos em fornos verticais para suportar as bolachas de silício e impedir a contaminação por partículas durante o tratamento térmico.

Materiais e processos de fabricação

● Substrato: feita de grafite SGL de alta qualidade, a qualidade é garantida.

●  Revestimento: O revestimento de carboneto de silício é aplicado à superfície de grafite por deposição química de vapor (CVD).

● A espessura do revestimento é geralmente entre 50 ~ 500μm, que é ajustada de acordo com os requisitos de uso.

●  O revestimento de SiC por deposição química de vapor tem maior pureza e densidade, além de melhor durabilidade.

Selecione o apropriadoRevestimento de SiCanel de acordo com o diâmetro da pastilha de silício no forno e as especificações do transportador. Podemos personalizá-lo para você. O revestimento denso e de alta pureza é mais durável e menos poluente. Substitua regularmente de acordo com a frequência de uso e os requisitos do processo para evitar contaminação ou falha de suporte devido ao envelhecimento do revestimento.

Como fornecedor e fabricante profissional de anel revestido com forno vertical SIC na China, o Vetek Semiconductor está comprometido há muito tempo em fornecer tecnologia avançada de tecnologia de forno vertical e soluções de produtos para a indústria de semicondutores. Sinceramente, esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

ESTRUTURA DE CRISTAL DO FILME CVD SIC

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC

É semicondutorLojas de anéis revestidos com SiC para forno vertical: