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SiC Coating Set Disc
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SiC Coating Set Disc

O vetek semicondutor é o principal fabricante de revestimentos de CVD SIC na China, oferece o SiC de revestimento definido em reatores de MOCVD de Aixtron. Esses Discos do conjunto de revestimento SiC são criados usando grafite de alta pureza e apresentam um revestimento CVD SiC com impureza abaixo de 5ppm. Sua pergunta é bem -vinda.

O vetek semicondutor é o fabricante e fornecedor da China de revestimento da SiC, que produz principalmente disco de revestimento SiC, colecionador, susceptador com muitos anos de experiência. Espero construir um relacionamento comercial com você.



O disco de conjunto de revestimento Aixtron SiC é um produto de alto desempenho projetado para uma ampla gama de aplicações. O kit é feito de material de grafite de alta qualidade com um protetorrevestimento de carboneto de silício (sic)O revestimento de carboneto de silício (sic) na superfície do disco temVárias vantagens importantes:


Primeiro de tudo, melhora muito a condutividade térmica do material de grafite, obtendo condução de calor eficiente e controle preciso da temperatura. Isso garante aquecimento ou resfriamento uniforme de todo o conjunto de disco durante o uso, resultando em desempenho consistente.


Segundo, o revestimento de carboneto de silício (SiC) possui excelente inércia química, tornando o conjunto de disco altamente resistente à corrosão. Essa resistência à corrosão garante a longevidade e a confiabilidade do disco, mesmo em ambientes severos e corrosivos, tornando -o adequado para uma variedade de cenários de aplicação.


Além disso, o revestimento de carboneto de silício (SIC) melhora a durabilidade geral e a resistência do desgaste do conjunto de disco. Essa camada protetora ajuda o disco a suportar o uso repetido, reduzindo o risco de danos ou degradação que pode ocorrer ao longo do tempo. A durabilidade aprimorada garante o desempenho e a confiabilidade a longo prazo do conjunto de disco.


Os discos de conjunto de revestimento de Aixtron SiC são amplamente utilizados nos laboratórios de fabricação de semicondutores, processamento químico e pesquisa. Sua excelente condutividade térmica, resistência química e durabilidade o tornam ideal para aplicações críticas que requerem controle preciso do controle de temperatura e ambientes resistentes à corrosão.


Estrutura cristalina de filme CVD SIC:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade Valor típico
Estrutura cristalina Policristalina da fase β da FCC, principalmente (111) orientada
Densidade 3,21 g/cm³
Dureza 2500 VICKERS DUÊNDA (500G CARRE
Tamanho de grão 2 ~ 10mm
Pureza química 99,99995%
Capacidade de calor 640 J · kg-1· K-1
Temperatura da sublimação 2700 ℃
Força de flexão 415 MPA RT 4 pontos
Módulo de Young 430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Condutividade térmica 300W · m-1· K-1
Expansão térmica (CTE) 4,5 × 10-6K-1


Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores:

SiC Epitaxy Si Epitaxy GaN Epitaxy


É semicondutorSiC Coating Set DiscLoja de produção

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