Assim revestido com aulas de epi

Você pode ter certeza de comprar susceptores de EPI revestidos com SIC de nossa fábrica.

VETEK SEMICONDUCOR SIC EPI Susceptor é um barril epitaxial é uma ferramenta especial para o processo de crescimento epitaxial de semicondutores com muitas vantagens:

● Capacidade de produção eficiente: O susceptador de EPI com revestimento de SiC do VETEK SEMICONDUCTOR pode acomodar várias bolachas, possibilitando o crescimento epitaxial de várias bolachas simultaneamente. Essa capacidade de produção eficiente pode melhorar bastante a eficiência da produção e reduzir os ciclos e custos de produção.

● Controle de temperatura otimizado: O Epi Susceptor revestido com SiC está equipado com um sistema avançado de controle de temperatura para controlar e manter com precisão a temperatura de crescimento desejada. O controle estável da temperatura ajuda a alcançar o crescimento uniforme da camada epitaxial e a melhorar a qualidade e a consistência da camada epitaxial.

● Distribuição de atmosfera uniforme: O Epi Susceptor revestido com SiC fornece uma distribuição uniforme da atmosfera durante o crescimento, garantindo que cada wafer seja exposto às mesmas condições atmosféricas. Isto ajuda a evitar diferenças de crescimento entre os wafers e melhora a uniformidade da camada epitaxial.

● Controle eficaz de impurezas: O design do susceptador de EPI revestido com SiC ajuda a reduzir a introdução e difusão de impurezas. Pode fornecer um bom controle de vedação e atmosfera, reduzir o impacto das impurezas na qualidade da camada epitaxial e, assim, melhorar o desempenho e a confiabilidade do dispositivo.

● Desenvolvimento flexível de processos: O Epi Susceptor possui recursos flexíveis de desenvolvimento de processos que permitem rápido ajuste e otimização dos parâmetros de crescimento. Isso permite que pesquisadores e engenheiros conduzam rápido desenvolvimento e otimização de processos para atender às necessidades de crescimento epitaxial de diferentes aplicações e requisitos.