Feltro rígido de alta pureza

O crescimento epitaxial de SiC é uma tecnologia para o crescimento de filmes finos de carboneto de silício de alta qualidade na superfície de um substrato. Este processo é essencial para a fabricação de dispositivos semicondutores de carboneto de silício de alto desempenho, como dispositivos de potência de carboneto de silício e dispositivos RF de carboneto de silício. Neste processo, o ambiente de crescimento, incluindo temperatura, fluxo de gás, pressão e outros parâmetros, precisa ser estritamente controlado para garantir o crescimento de camadas epitaxiais de carboneto de silício de alta qualidade e alta pureza com boas propriedades elétricas. As peças de grafite SiC coatig Halfmoon são o componente principal do crescimento epitaxial SIC, e o feltro rígido de alta pureza desempenha principalmente o papel de preservação do calor das peças de grafite SiC coatig Halfmoon.

O feltro rígido de alta pureza tem boa condutividade térmica, que pode distribuir uniformemente o calor da fonte de aquecimento em torno das peças de grafite Halfmoon do SiC coatig e tem um bom efeito de preservação do calor. Durante o crescimento epitaxial do SiC, ele pode absorver calor e liberá-lo lentamente para evitar superaquecimento ou super-resfriamento local, de modo que a diferença de temperatura na superfície do substrato de carboneto de silício seja controlada dentro de uma faixa muito pequena, e a uniformidade de temperatura geralmente pode atingir ± 1 - 2℃, que é muito importante para o crescimento de uma camada epitaxial de carboneto de silício com espessura uniforme e propriedades elétricas consistentes.

Alguns gases corrosivos, como o silano (SiH4) e o propano (C3H8), são usados ​​como gases fonte de reação no crescimento epitaxial do SiC. O feltro rígido de alta pureza tem boa tolerância a esses gases químicos e pode manter sua integridade estrutural durante todo o ciclo de crescimento epitaxial (que pode durar horas ou até dezenas de horas). E a pureza do feltro rígido de alta pureza está acima de 99,99%, e não liberará substâncias que possam contaminar a camada epitaxial no ambiente de reação, garantindo assim a alta pureza da camada epitaxial de carboneto de silício.

A densidade apropriada pode garantir a resistência mecânica e a condutividade térmica do feltro rígido de alta pureza. Ao garantir a condutividade térmica, pode minimizar a interferência de fatores externos no crescimento epitaxial do SiC.

Comparado com materiais de cerâmica e materiais de metal tradicionais, a grafite de alta pureza Feel tem melhor condutividade térmica e estabilidade química, e é um excelente material de componente auxiliar para o crescimento epitaxial do SiC.

Como fornecedor e fábrica líder de feltro rígido de alta pureza na China, a VeTek Semiconductor fornece produtos altamente personalizados, sejam materiais ou tamanho do produto, podem ser personalizados para você. Além disso, a VeTek Semiconductor está há muito comprometida em fornecer tecnologia avançada de feltro rígido de alta pureza e soluções de produtos para a indústria de semicondutores. Esperamos sinceramente nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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