Porta-wafer para VEECO MOCVD (LED Epitaxy)

Características do produto:

1. Base de grafite de alta pureza com uma densa camada de CVD SiC
2. Boa uniformidade térmica para epitaxia LED estável
3. Resiste a NH₃, HCl e outros gases corrosivos usados ​​no processo
4. Baixo desprendimento de partículas e longa vida útil
5. Os designs de bolso podem ser personalizados para diferentes tamanhos de wafer e plataformas de reatores
6. Funciona bem para operação MOCVD de longo prazo e em alta temperatura

Aplicações:
Esses portadores de wafer são amplamente utilizados em LED e epitaxia de semicondutores compostos, incluindo:

• Epitaxia GaN LED
• Epitaxia LED azul esverdeada
• Crescimento profundo de LED UV
• Epitaxia GaN baseada em Si
• Fabricação geral de semicondutores compostos

As soluções de transporte personalizadas adaptam-se a múltiplas plataformas LED MOCVD, tais como:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7/Unimax

Vantagens Técnicas:

1. Revestimento CVD SiCtecnologia que oferece boa densidade e pureza
2. Variação da espessura do revestimento mantida em ±10 μm – ajuda a manter o desempenho térmico estável
3. Usinagem CNC com precisão de até 3 μm para bom ajuste do wafer e estabilidade de rotação
4. O revestimento adere bem e resiste a rachaduras após repetidos ciclos MOCVD de alta temperatura
5. Lida com NH₃, HCl e outros ambientes agressivos de epitaxia sem problemas
6. Baixa geração de partículas e superfície limpa para suportar alto rendimentoEpitaxia LED
7. Pode revestir tamanhos grandes ou personalizados para diferentes plataformas de reatores e layouts de wafer
8. Longa experiência compeças personalizadas revestidas com grafite e SiCpara LED e epitaxia semicondutora composta

PERGUNTAS FREQUENTES:
1. O que um transportador de wafer faz emMOCVDEpitaxia LED?

R: Ele segura e gira os wafers dentro do reator MOCVD e ajuda a manter a temperatura estável durante o crescimento epitaxial.

2. Por que usar transportadores de wafer de grafite revestidos com SiC para MOCVD?

R: ORevestimento CVD SiCproporciona melhor resistência à corrosão, estabilidade térmica e durabilidade. Também ajuda a reduzir a contaminação por partículas em epitaxia de alta temperatura.

3. A Vetek Semiconductor fabrica transportadores de wafer personalizados?
R: Sim. Podemos projetar transportadores personalizados com base na plataforma do reator, tamanho do wafer, layout do bolso e outras necessidades do processo.