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SiC Single Crystal Growth Process Oars Parts

Produto de veteksemicon, orevestimento de carboneto de tântalo (tac)Produtos para o processo de crescimento de cristal único SiC, aborda os desafios associados à interface de crescimento dos cristais de carboneto de silício (SIC), particularmente os defeitos abrangentes que ocorrem na borda do cristal. Ao aplicar o revestimento TAC, nosso objetivo é melhorar a qualidade do crescimento de cristais e aumentar a área efetiva do centro do cristal, o que é crucial para alcançar um crescimento rápido e espesso.


O revestimento TAC é uma solução tecnológica central para o crescimento de alta qualidadeSic processo de crescimento de cristal único. Desenvolvemos com sucesso uma tecnologia de revestimento TAC usando deposição de vapor químico (CVD), que atingiu um nível internacionalmente avançado. O TAC possui propriedades excepcionais, incluindo um alto ponto de fusão de até 3880 ° C, excelente resistência mecânica, dureza e resistência ao choque térmico. Ele também exibe boa inércia química e estabilidade térmica quando exposto a altas temperaturas e substâncias como amônia, hidrogênio e vapor contendo silício.


Vekekemiconrevestimento de carboneto de tântalo (tac)Oferece uma solução para abordar os problemas relacionados à borda no processo de crescimento de cristais de SiC, melhorando a qualidade e a eficiência do processo de crescimento. Com nossa tecnologia avançada de revestimento TAC, pretendemos apoiar o desenvolvimento da indústria de semicondutores de terceira geração e reduzir a dependência de materiais importantes importados.


Método Pvt SiC SiC Crystal Growth Process Orar Parts:

PVT method SiC Single crystal growth process



O cadinho revestido de TAC, suporte de semente com revestimento TAC, anel da guia de revestimento TAC são peças importantes no forno de cristal único SiC e Ain pelo método PVT.

Recurso -chave:

● Resistência à alta temperatura

●  Alta pureza, não poluirá matérias -primas SiC e cristais únicos SiC.

●  Resistente a Al Steam e N₂corrosion

●  Alta temperatura eutética (com ALN) para reduzir o ciclo de preparação de cristais.

●  Reciclável (até 200H), melhora a sustentabilidade e a eficiência da preparação de tais cristais únicos.


Características de revestimento TAC

Tantalum Carbide Coating Characteristics


Propriedades físicas típicas do revestimento TAC

Propriedades físicas do revestimento TAC
Densidade 14.3 (g/cm³)
Emissividade específica 0.3
Coeficiente de expansão térmica 6.3 10-6/K
Dureza (hk) 2000 HK
Resistência 1 × 10-5Ohm*cm
Estabilidade térmica <2500 ℃
Mudanças de tamanho de grafite -10 ~ -20um
Espessura do revestimento ≥20um valor típico (35um ± 10um)


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Anel de guia revestido de TAC

Anel de guia revestido de TAC

O anel guia revestido com TAC é feito de grafite de alta qualidade e revestimento TAC. Na preparação de cristais SiC pelo método PVT, o anel guia revestido de TAC do VETEK SEMICONDUCOR é usado principalmente para guiar e controlar o fluxo de ar, otimizar o processo de crescimento de cristal único e melhorar o rendimento de cristal único. Com excelente tecnologia de revestimento TAC, nossos produtos têm excelente resistência a alta temperatura, resistência à corrosão e boas propriedades mecânicas.
Transportadora de wafer de grafite revestida de TAC

Transportadora de wafer de grafite revestida de TAC

A VeTek Semiconductor projetou cuidadosamente o transportador de wafer de grafite revestido com TaC para os clientes. É composto de grafite de alta pureza e revestimento TaC, que é adequado para vários processamentos de wafer epitaxial. Somos especializados em revestimento de SiC e TaC há muitos anos. Comparado com o revestimento SiC, nosso suporte de wafer de grafite revestido com TaC tem maior resistência à temperatura e ao desgaste. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.
Como fabricante e fornecedor profissional SiC Single Crystal Growth Process Oars Parts na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas da sua região ou deseja comprar uma mensagem avançada e durável SiC Single Crystal Growth Process Oars Parts na China, você pode nos deixar uma mensagem.
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