Mandril de vácuo cerâmico poroso

Vetek Semiconductor é um fabricante chinês de mandril de vácuo de cerâmica porosa, que é usado para fixar e segurar wafers de silício ou outros substratos por adsorção a vácuo para garantir que esses materiais não se desloquem ou deformem durante o processamento. A Vetek Semiconducto pode fornecer produtos de mandril de vácuo cerâmico poroso de alta pureza com desempenho de alto custo. Bem-vindo a perguntar.

A Vetek Semiconductor oferece uma série de excelentes produtos de mandril de vácuo de cerâmica porosa, especialmente projetados para atender aos rigorosos requisitos da fabricação moderna de semicondutores. Esses transportadores apresentam excelente desempenho em limpeza, planicidade e configuração personalizável do caminho do gás.

Limpeza incomparável:

Eliminação de impurezas: Cada mandril de vácuo de cerâmica porosa é sinterizado a 1200°C por 1,5 horas para remover completamente as impurezas e garantir que a superfície esteja limpa como nova.

Embalagem a vácuo: Para manter o estado limpo, o Mandril de Vácuo de Cerâmica Porosa é embalado a vácuo para evitar contaminação durante o armazenamento e transporte.

Excelente planicidade:

Adsorção de wafer sólido: O mandril de vácuo cerâmico poroso mantém uma força de adsorção de -60kPa e -70kPa antes e depois da colocação do wafer, respectivamente, garantindo que o wafer seja firmemente adsorvido e evite que caia durante a transmissão em alta velocidade.

Usinagem de Precisão: A parte traseira do transportador é usinada com precisão para garantir uma superfície completamente plana, mantendo assim uma vedação a vácuo estável e evitando vazamentos.

Design Personalizado:

Centrado no cliente: A Vetek Semiconductor trabalha em estreita colaboração com os clientes para projetar configurações de caminhos de gás que atendam aos seus requisitos específicos de processo para otimizar a eficiência e o desempenho.

Testes de qualidade rigorosos:

A Vetek realiza testes abrangentes em cada peça do mandril de vácuo de SiC poroso para garantir sua qualidade:

Teste de oxidação: O Mandril de Vácuo SiC é rapidamente aquecido a 900°C em um ambiente livre de oxigênio para simular o processo de oxidação real. Antes disso, o transportador é recozido a 1100°C para garantir um desempenho ideal.

Teste de Resíduos Metálicos: Para evitar a contaminação, o transportador é aquecido a uma temperatura elevada de 1200°C para detectar se há alguma precipitação de impurezas metálicas.

Teste de vácuo: Ao medir a diferença de pressão entre o Mandril de Vácuo SiC Poroso com e sem o wafer, seu desempenho de vedação a vácuo é rigorosamente testado. A diferença de pressão deve ser controlada dentro de ±2kPa.

Tabela de características do mandril de vácuo cerâmico poroso:

Lojas de mandril de vácuo SiC poroso VeTek Semiconductor: