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O barco de quartzo é um componente essencial de suporte de carga usado no processo de fabricação de semicondutores. É usado principalmente para o processamento de alta temperatura de bolachas, como difusão, oxidação e recozimento. Sua excelente estabilidade térmica, baixa poluição e resistência à corrosão o tornam um material indispensável na indústria de semicondutores. Este artigo elaborará o material, as propriedades físicas, a classificação, os cenários de aplicação do barco de quartzo e suas diferenças do barco de grafite PECVD.

O material do núcleo do barco de grafite PECVD é o material de grafite isotrópico de alta pureza (a pureza é geralmente ≥99,999%), que possui excelente condutividade elétrica, condutividade térmica e densidade. Comparados com barcos de grafite comuns, os barcos de grafite PECVD têm muitas vantagens de propriedades físicas e químicas e são usadas principalmente nas indústrias semicondutor e fotovoltaica, especialmente nos processos PECV e CVD.

As bandejas de grafite MOCVD desempenham um papel importante no processo epitaxial. Este artigo faz uma análise detalhada sobre a seleção de bandejas de grafite MOCVD das perspectivas das propriedades do material e dos cenários de aplicação.