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Os nanomateriais de carboneto de silício (SiC) são materiais com pelo menos uma dimensão na escala de nanômetros (1-100nm). Esses materiais podem ser zero-, um, dois ou tridimensionais e têm aplicações diversas.

O CVD SIC é um material de carboneto de silício de alta pureza fabricado pela deposição de vapor químico. É usado principalmente para vários componentes e revestimentos em equipamentos de processamento de semicondutores. O conteúdo a seguir é uma introdução à classificação do produto e funções principais do CVD SIC

Este artigo apresenta principalmente os tipos de produtos, as características do produto e as principais funções do revestimento TAC no processamento de semicondutores e faz uma análise e interpretação abrangentes dos produtos de revestimento TAC como um todo.

Este artigo apresenta principalmente os tipos de produtos, as características do produto e as principais funções do Susceptador de MOCVD no processamento de semicondutores e faz uma análise e interpretação abrangentes dos produtos Susceptores de MOCVD como um todo.

Um susceptor de grafite revestido com SiC para ASM não é apenas uma peça de reposição dentro de um sistema de epitaxia. É um transportador crítico para o processo que influencia a uniformidade térmica, a limpeza do wafer, a durabilidade do revestimento, a estabilidade da câmara e o custo de produção a longo prazo.

Uma tampa de revestimento CVD TaC não é apenas uma tampa protetora ou um componente de grafite revestido. Em processos de semicondutores de alta temperatura, pode influenciar a limpeza da câmara, a estabilidade térmica, a vida útil da peça e a consistência do processo.