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Na preparação de substratos de carboneto de silício de alta e alto rendimento, o núcleo requer controle preciso da temperatura de produção por bons materiais de campo térmico. Atualmente, os kits cadinhos de campo térmico usados ​​principalmente são componentes estruturais de grafite de alta pureza, cujas funções são para aquecer o pó de carbono fundido e o pó de silício, além de manter o calor.

Quando você vê os semicondutores de terceira geração, certamente se perguntará o que eram as primeiras e segundas gerações. A "geração" aqui é classificada com base nos materiais utilizados na fabricação de semicondutores.

O chuck eletrostático (ESC), também conhecido como Chuck eletrostático (ESC, E-Chuck), é um acessório que usa o princípio da adsorção eletrostática para segurar e consertar o material adsorvido. É adequado para ambientes de vácuo e plasma.