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As bandejas de grafite MOCVD desempenham um papel importante no processo epitaxial. Este artigo faz uma análise detalhada sobre a seleção de bandejas de grafite MOCVD das perspectivas das propriedades do material e dos cenários de aplicação.

Os materiais de grafite têm uma ampla gama de cenários de aplicação. Entre eles, a grafite isotrópica e a grafite siliconizada são os dois principais tipos diferentes de materiais de grafite, e suas características, cenários de aplicação e vantagens são significativamente diferentes. Este blog conduzirá uma análise comparativa de três aspectos: características estruturais, cenários de aplicação e vantagens do produto.

A cerâmica de carboneto de silício, comumente conhecida como Cerâmica do SIC, é um material versátil com propriedades únicas e uma ampla gama de aplicações em várias indústrias. A seguir, é apresentada uma discussão detalhada de sua composição material, propriedades físicas, aplicações e vantagens específicas nos processos de revestimento semicondutores e problemas comuns encontrados durante o processamento.