Notícias da indústria

SiC Ceramic é um material de cerâmica produzido pela reação dos elementos de silício (SI) e carbono (c), com dureza extremamente alta, resistência ao calor e estabilidade química

No mundo de alto risco de fabricação de semicondutores, precisão e estabilidade são tudo-e é aí que o chuck eletrostático (ESC) entra. Muito mais do que apenas uma ferramenta de retenção, o ESC usa forças eletrostáticas para prender as bolachas com segurança durante processos críticos, como gravura, deposição e implantação de íons. Mas como isso realmente funciona? Por que é superior ao aperto mecânico tradicional? E que papel ele desempenha na obtenção de precisão em nanoescala e eficiência da taxa de transferência? Bem -vindo ao Read.

O princípio da Dechuck do mandril eletrostático é uma parte essencial de seu fluxo de trabalho que envolve mecanismos de eliminação da força eletrostática e de liberação de wafer.