Notícias da indústria

O chuck eletrostático (ESC), também conhecido como Chuck eletrostático (ESC, E-Chuck), é um acessório que usa o princípio da adsorção eletrostática para segurar e consertar o material adsorvido. É adequado para ambientes de vácuo e plasma.

Os portadores de wafer da SIC, como os principais consumíveis na cadeia da indústria de semicondutores de terceira geração, suas características técnicas afetam diretamente o rendimento do crescimento epitaxial e da fabricação de dispositivos. Com a demanda crescente de dispositivos de alta tensão e alta temperatura em indústrias como estações base 5G e novos veículos de energia, a pesquisa e a aplicação de transportadores de wafer da SiC agora estão enfrentando oportunidades significativas de desenvolvimento.

A cerâmica de alumina é o "cavalo de batalha" para os componentes de cerâmica de fabricação. Eles exibem excelentes propriedades mecânicas, pontos de fusão ultra-altos e dureza, resistência à corrosão, forte estabilidade química, alta resistividade e isolamento elétrico superior. Eles são comumente usados ​​para fabricar placas de polimento, chucks a vácuo, braços de cerâmica e partes semelhantes.