Barco de wafer de quartzo de alta pureza

O barco de quartzo de alta pureza do vetek semicondutor é feito de quartzo de pureza ultra-alta, que possui as características de baixo teor de hidroxila, alta pureza e forte resistência à alta temperatura. Este material também é amplamente utilizado na indústria de semicondutores como material para fornos de difusão e componentes do forno CVD. Como recipiente para transportar bolachas de silício, a bolacha de barco de quartzo de alta pureza tem sido usada em campos semicondutores, fotovoltaicos, químicos e outros.

Cenários de aplicação

Primeiro é o campo semicondutor. O processo de tratamento térmico das bolachas é muito importante, incluindo oxidação térmica, difusão, recozimento etc. Através do processo de tratamento térmico, fornecemos novas características às bolachas.

Os tubos centrais de fornos em lote são usados ​​para processos de processamento de wafers semicondutores, como oxidação térmica, difusão em alta temperatura, recozimento e deposição de filmes finos. O forno de aquecimento em lote é usado principalmente para aquecer o corpo do forno por meio de bobinas para completar o tratamento térmico. De acordo com as diferentes estruturas de trabalho, os tubos centrais do forno em lote podem ser divididos em fornos horizontais e fornos verticais:

(1) O barco wafer de quartzo de alta pureza do forno horizontal é colocado horizontalmente, por isso é chamado de forno horizontal.

No processo de tratamento térmico, a bolacha é carregada no barco de wafer de quartzo de alta pureza, enviado lentamente para o tubo do forno de quartzo, e a bolacha é colocada em uma zona de temperatura constante para processamento. Depois de aguardar a conclusão do processo, o barco de quartzo usado é retirado lentamente do forno de quartzo para impedir que a bolacha seja danificada devido a mudanças repentinas de temperatura. Os fornos horizontais são amplamente utilizados no processo de difusão de circuitos integrados com diâmetros de wafer com menos de 200 mm. 

As vantagens dos fornos horizontais são o processo simples, a boa uniformidade entre os wafers e a capacidade de processar vários wafers ao mesmo tempo. As desvantagens são a lenta velocidade de aquecimento, o grande tamanho do equipamento, a dificuldade de automação e a fácil entrada de ar externo durante o carregamento e descarregamento de wafers.

(2) O barco de wafer de quartzo de alta pureza do forno vertical é colocado verticalmente, por isso é chamado de forno vertical.

A bolacha é carregada na torre de quartzo e sobe lentamente no tubo do forno de quartzo para aquecimento. Durante o processo de aquecimento, o barco de wafer de quartzo de alta pureza gira lentamente para garantir que a bolacha seja aquecida uniformemente. Após o processamento, a torre de quartzo descerá lentamente para evitar mudanças de temperatura que podem causar danos a wafer. Os fornos verticais são usados ​​principalmente no processo de circuito integrado de bolachas de 200 mm e 300 mm de diâmetro. A tecnologia principal dos fornos verticais está no controle de campo de alta precisão de alta precisão, controle de partículas, controle de micro-oxigênio e motorização de micro-ambiente. As vantagens dos fornos verticais são finas camadas de óxido natural, boa uniformidade, automação mais fácil, pegada de equipamentos pequenos e processamento em lote. A desvantagem é que a velocidade de aquecimento é lenta.

No campo fotovoltaico, o processo de produção de células fotovoltaicas requer barcos de quartzo para transportar e transportar bolachas de silício no processo de difusão de alta temperatura. O tratamento de alta temperatura em um nitrogênio de alta pureza, oxigênio ou outra atmosfera de gás inerte, como difusão de fósforo ou difusão de boro, é uma etapa importante no processo de fabricação de células solares. O objetivo é formar uma junção PN na bolacha de silício.

O barco de quartzo projetou com precisão slots internos para garantir que a bolacha de silício mantenha a posição exata durante o processo de difusão de alta temperatura e seja uniforme. Como o material de quartzo possui boa resistência de alta temperatura e estabilidade química, ele não poluirá a bolacha de silício, que é propícia a manter uma alta limpeza do ambiente de produção.

Como inovador e líder no wafer da China, usou o mercado de barcos de quartzo, esteja você envolvido na indústria de semicondutores ou na indústria fotovoltaica, desde que você precise de um barco de wafer de quartzo de alta pureza, peça -nos uma cotação e seremos capazes de adaptar para você de acordo com suas necessidades.

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