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Barco de quartzo de alta pureza
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Barco de quartzo de alta pureza

Nosso barco de quartzo de alta pureza é feito de quartzo fundido (conteúdo de SiO₂ ≥ 99,99%). Com sua excelente resistência a ambientes extremos, baixo coeficiente de expansão térmica e ciclo de vida longo, tornou -se uma chave insubstituível consumível nas indústrias de semicondutores e novas energia.


Os barcos de quartzo de alta pureza são portadores de precisão feitos de materiais de quartzo de pureza ultra-alta (conteúdo de SiO₂ ≥ 99,99%), projetados para processos de alta limpeza e alta limpeza. Este dispositivo é essencial para processos como recozimento, difusão, oxidação e deposição de vapor químico (DCV) e é amplamente utilizado em semicondutores, fotovoltaicos e outros campos. Sua vantagem central está na estabilidade física e química do próprio material.


Ⅰ. Excelentes propriedades físicas do barco de quartzo de alta pureza veteksemicon


Características
Parâmetros específicos/desempenho
Pureza
SiO₂ Conteúdo ≥99,99% (grau 4n), impurezas de metal (como Na, K, Fe) ≤10 ppm, para evitar a contaminação de ambientes de processo sensíveis.
Resistência à alta temperatura

Ponto de amolecimento: ≥1660 ° C (tolerância a curto prazo 1700 ° C); 

Temperatura de uso contínuo:1200 ° C (estabilidade a longo prazo sem deformação)

Coeficiente de expansão térmica
0,55 × 10⁻⁶/° C (20 ~ 1000 ° C), próximo à expansão zero, excelente resistência ao choque térmico.
Estabilidade química
Resistente a ácidos fortes (exceto IC), alcalis fortes (à temperatura ambiente) e resistentes a gases corrosivos, como H₂ e Cl₂ a altas temperaturas.
Propriedades ópticas
Transmitância UV-IR ≥90% (200 ~ 2500 nm), adequada para requisitos de transportadores transparentes nos processos de litografia e laser.
Força mecânica

Resistência à compressão: ≥1200 MPa

Dureza da superfície (MOHS): 7 (mais alto que o vidro comum)

Acabamento superficial
Ra≤0,2 μm, reduzindo a contaminação das partículas e melhorando o rendimento da bolacha.


Ⅱ. Principais usos e vantagens correspondentes do produto de alto barco de quartzo de alta pureza


1. Fabricação de semicondutores:


Usos específicos: Ferramentas transportadoras nos processos de alta temperatura de alta temperatura, oxidação, recozimento e CVD (deposição de vapor químico).


Vantagens do produto:

Poluição ultra baixa: Os barcos de wafer pura de 99,99% da VetekSemicon evitam a contaminação por íons metálicos e garantem o desempenho elétrico do chip.

Tamanho preciso:

Vida longa: De acordo com os dados reais de produção que registramos, os barcos de wafer de quartzo que produzimos podem ser usados ​​continuamente por mais de 1000 horas a 1200 ° C, reduzindo bastante a frequência de reposição (em comparação com barcos de quartzo comuns, a vida é aumentada em 3 vezes).


2. Indústria fotovoltaica


Usos específicos: No campo da fabricação da indústria fotovoltaica, os barcos de quartzo de alta pureza são geralmente usados ​​para bolachas de silício na difusão de fósforo de células PERC e no processo de difusão de boro das células topcon.


Vantagens de desempenho:

Design de carga alta: O barco único que produzimos pode transportar 200 ~ 300 bolachas de silício (espessura 160 ~ 180μm), melhorando bastante a capacidade de produção de wafer por unidade de tempo.

Aumento rápido da temperatura e queda: Coeficiente de expansão térmica ultra-baixa (0,55 × 10⁻⁶/° C (20 ~ 1000 ° C), próximo à expansão zero) suporta uma redução de 10% ~ 15% no ciclo do processo.

Efeito anti-Pid: Nenhuma precipitação de íons de sódio durante o processo de carregamento de wafer de silício reduz o risco de degradação fotoinduzida.


Ⅲ. Especificações de embalagem de barcos de quartzo


Os barcos de quartzo veteksemicon usarão embalagens densas de várias camadas para garantir a integridade do produto durante o armazenamento e o transporte.


Ao mesmo tempo, o veteksemincon suporta design de processo estendido personalizado, como tamanho não padrão (erro ± 0,1 mm), design de empilhamento de camadas múltiplas (até 5 camadas) e revestimento de filme resistente a alta temperatura (como revestimento SiC). Dê boas -vindas à sua consulta adicional.


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