Mandril eletrostático cerâmico de nitreto de alumínio (AlN)

1.Vantagens

• Cerâmica AlN de alta pureza com condutividade térmica de até ~180 W/m·K para transferência de calor eficiente e uniformidade de temperatura

• Isolamento elétrico forte e resistividade de alto volume que suportam fixação estável de 1 a 3 kV (tensões mais altas disponíveis)

• Materiais de camada dielétrica personalizados e layouts de eletrodo: Coulomb ou Johnsen – Rahbek (JR); zona única ou multizona

• Desempenho rápido de fixação e desfixação, normalmente abaixo de 0,1 segundo

• Microestruturas onduladas na superfície até ~300 μm de diâmetro, reduzindo a área de contato para até ~1%

• Alta capacidade de planicidade; planicidade global típica da ordem de 0,5–3 μm PV para plataformas de classe de 300 mm

• Microestrutura densa com absorção de água quase nula e boa resistência química para ambientes de processo

2.Aplicações Típicas

Os mandris eletrostáticos cerâmicos de nitreto de alumínio são usados ​​em etapas de processo que exigem fixação segura do wafer e comportamento térmico controlado:

• Gravura com plasma seco (ICP/RIE) e processos de câmara relacionados

• CVD, PEALD, ALD térmico e outros estágios de deposição de filmes finos

• Módulos de recozimento e processo térmico que exigem temperatura uniforme do wafer

• Estágios de inspeção, metrologia e precisão onde o baixo teor de partículas e a fixação estável são essenciais

3.Classes de materiais AlN – Propriedades típicas

A VeTek oferece vários graus de nitreto de alumínio para equilibrar condutividade térmica, resistência mecânica e custo para projetos ESC:

Unidades: Condutividade térmica em W/(m·K); rigidez dielétrica em kV/mm; resistividade volumétrica em Ω·cm (25 °C); constante dielétrica em 1 MHz. Os valores são típicos e podem variar de acordo com o processo e a geometria da peça.

4.Parâmetros típicos de projeto ESC

5.Por que ChooVocê conhece os mandris eletrostáticos VeTek AlN?

A VeTek Semiconductor integra cerâmica AlN avançada com fabricação ESC de precisão para clientes de semicondutores que precisam de desempenho térmico e fixação confiável:

• Vários graus de AlN com condutividade térmica de ~90 a ~180 W/m·K para atender aos orçamentos térmicos do processo

• Eletrodo flexível e design dielétrico para comportamento de fixação Coulomb ou JR

• Controle rígido de planicidade, microestrutura de superfície e desempenho de isolamento elétrico

• Suporte completo ao ciclo de vida: projeto, nova construção e reforma em vários níveis

Para ferramentas de corrosão, deposição e térmicas que dependem de temperatura uniforme do wafer e fixação limpa e repetível, os mandris eletrostáticos cerâmicos de nitreto de alumínio VeTek fornecem uma plataforma cerâmica de alto desempenho apoiada por suporte de engenharia focado na aplicação.