Receptor Aixtron MOCVD

Os suscetores produzidos porSemicondutores Veteksão feitos de substrato de grafite e material de revestimento de carboneto de silício (SIC). Dada a maior resistência ao desgaste, resistência à corrosão e dureza extremamente alta do material SiC, é particularmente adequado para uso em ambientes de processo severos. Portanto, os susceptores produzidos pelo vetek semicondutor podem ser usados ​​diretamente em processos de MOCVD de alta temperatura sem tratamento superficial adicional.

Os susceptores são componentes-chave na fabricação de semicondutores, especialmente em equipamentos MOCVD para processos de deposição de filmes finos. O principal papel deReceptor SiC Aixtronno processo MOCVD é transportar wafers semicondutores, garantir a deposição uniforme e de alta qualidade de filmes finos, fornecendo distribuição uniforme de calor e ambiente de reação, alcançando assim a produção de filmes finos de alta qualidade.

Receptor Aixtron MOCVDé geralmente usado para apoiar e fixar a base de wafers semicondutores para garantir a estabilidade do wafer durante o processo de deposição. Ao mesmo tempo, o revestimento superficial do Susceptor Aixtron MOCVD é feito de carboneto de silício (SiC), um material altamente condutor térmico. O revestimento SiC garante temperatura uniforme na superfície do wafer, e o aquecimento uniforme é essencial para a obtenção de filmes de alta qualidade.

Além disso, oReceptor Aixtron MOCVDProduzimos um papel maior no controle do fluxo e distribuição de gases reativos através do projeto otimizado de materiais. Evite correntes de redemoinho e gradientes de temperatura para obter deposição uniforme de filme.

Mais importante, no processo MOCVD, o material de revestimento de carboneto de silício (SIC) tem resistência à corrosão, entãoSemicondutores Vetek'sReceptor Aixtron MOCVDTambém pode suportar altas temperaturas e gases corrosivos.

Propriedades físicas básicas deRevestimento sic:

Lojas de barcos Wafer VeTek Semiconductor:

Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores: