Serviço de limpeza de peças de grafite de revestimento CVD SiC

1. Desafios que você pode enfrentar

• Camada AlN difícil de remover:A limpeza térmica a 1300°C ainda não consegue gravar com eficácia a camada residual de AlN.

• Efeito de memória recorrente:O efeito de memória de superfície causa fluxo de gás instável no reator, impactando a consistência do processo.

• Ciclo de Limpeza ImpactoTaxa de transferência:Normalmente, a cada 16 ciclos de processo (4–5 susceptores) é necessária limpeza externa.

• Preocupação com danos a revestimentos caros:A falta de experiência interna em limpeza química faz com que os operadores hesitem em tentar uma limpeza agressiva.

2. Nossa solução – Projetada para processos GaN/AlN/AlGaN

• Limpeza Profissional:Processo personalizado desenvolvido especificamente para peças de grafite revestidas com CVD SiC. Nenhuma fórmula química exigida do cliente.

• Segurança do Revestimento:Protege estritamente o revestimento CVD SiC de 100 µm. Perda de espessura absolutamente zero após a limpeza.

• Resultados verificáveis:Certificado de Análise Completo (COA) cobrindo cinco dimensões principais. Dados prontos para arquivo e auditoria de qualidade.

3. Cinco critérios principais de aceitação

Estritamente alinhado com os requisitos críticos dos usuários de epitaxia semicondutora:

1. Perda zero de revestimento– A espessura do revestimento de SiC nunca é reduzida após a limpeza (verificação de comparação de espessura pré/pós).

2. Sem deformação de superfície– A planicidade e a precisão geométrica são rigorosamente inspecionadas para garantir que não haja deformação física.

3. Elimine o efeito memória– A análise XPS para resíduos de Al/Ga confirma a remoção completa das fontes de efeito de memória.

4. Zero resíduo metálico– O teste ICP-MS para Fe, Cu, Ni e outros metais verifica zero impurezas metálicas residuais.

5. Sem excesso de partículas– O teste de partículas QIII e a verificação de limpeza evitam a instabilidade do fluxo de gás causada por partículas residuais.

4. Inspeção de entrega e relatório COA

Cada lote é entregue com dados de verificação completos em cinco dimensões principais:

5. Produtos aplicáveis ​​e antecedentes do processo

Parâmetros do produto

Processo de serviço

1. Consulta– Enviar fotos da peça/modelo/quantidade para avaliação.

2. Citação– Avaliação técnica e proposta detalhada de limpeza com orçamento.

3. Envio– Envie peças para nós ou agende um serviço de coleta.

4. Limpeza– Limpeza profissional + inspeção multidimensional completa.

5. Relatório– Relatório COA emitido e peças limpas devolvidas.

6. Acompanhamento– Rastreamento de efeitos e suporte técnico contínuo.

6. Por que escolher o serviço de limpeza VETEK?

A VETEK combina profundo conhecimento em tecnologia de revestimento CVD SiC com recursos especializados de limpeza para susceptores de grafite de alto valor. Compreendemos a importância crítica da integridade do revestimento, do controle de partículas e da pureza do processo na epitaxia de GaN/AlN. Nosso serviço é projetado para clientes que exigem segurança absoluta para revestimentos caros de CVD SiC, ao mesmo tempo em que resolvem completamente problemas de efeito memória e instabilidade do fluxo de gás.

· Limpeza experimental disponível para verificação de pequenos lotes

· Relatório COA completo fornecido com cada entrega

· Risco zero de danos ao revestimento ou nova contaminação

· Profissional · Seguro · Verificável