Guia de seleção

A seleção do SiC CVD, revestimento TaC ou SiC sólido correto determina diretamente os níveis de partículas e a vida útil dos componentes nas linhas de epitaxia/decapagem. Este artigo fornece limites de seleção claros por temperatura, atmosfera e processo, combinados com as principais soluções de substituição de equipamentos e métricas importantes, para ajudá-lo a tomar decisões rápidas e reduzir riscos.