Componente de teto Aixtron G5+

O nitreto de gálio (GaN) é um material semicondutor de banda amplo, com excelentes propriedades físicas, como alta mobilidade de elétrons, campo elétrico de ruptura de alta ruptura e velocidade de elétrons de alta saturação. É amplamente utilizado em dispositivos optoeletrônicos (como diodos emissores de luz, diodos a laser) e dispositivos eletrônicos de alta potência de alta frequência (como amplificadores de potência). O silício (SI) é um material de substrato semicondutor comumente usado com as vantagens de baixo custo, tamanho grande e compatibilidade com os processos de circuito integrado baseados em silício existentes. Portanto, o crescimento de camadas epitaxiais GaN no SI é um tópico de pesquisa muito valioso. A série Aixtron G5+ é um dos equipamentos de crescimento epitaxial de Gan mais quentes do SI no momento, que possui muitos componentes importantes, e o componente de teto é um dos componentes importantes.

O componente de teto Aixtron G5+ é feito de grafite SGL. A principal função é controlar a temperatura e garantir o fluxo de calor mais baixo através da bolacha.

 ●Controle de uniformidade de temperatura: 

O componente de teto Aixtron G5+ ajuda a obter distribuição uniforme de temperatura em toda a câmara de reação. No processo de crescimento epitaxial semicondutor, a uniformidade da temperatura é crucial para o crescimento de camadas epitaxiais de alta qualidade. Ele garante que a mesma temperatura da superfície possa ser obtida em todas as bolachas ou componentes de satélite, garantindo assim a consistência da taxa de crescimento e da qualidade do material epitaxial em todos os locais, melhorando assim o rendimento do processo.

 ● Otimize o ambiente de crescimento: 

Como parte da câmara de reação, o componente do teto Aixtron G5+ forma um ambiente de crescimento estável junto com outros componentes. Pode reduzir a perda de calor e tornar a temperatura na câmara de reação mais estável, o que é propício para controlar com precisão as condições para o crescimento epitaxial e reduzir os defeitos da camada epitaxial e a não uniformidade do desempenho causada por flutuações de temperatura.

O componente de teto Aixtron G5+ é um dos produtos convencionais da indústria lançada pelo vetek semicondutor. Escolher o vetek semicondutor significa parceria com uma empresa comprometida em ultrapassar os limites da inovação de revestimento de carboneto de silício. Com uma forte ênfase na qualidade, desempenho e satisfação do cliente, entregamos produtos que não apenas atendem, mas excedem as demandas rigorosas da indústria de semicondutores. Vamos ajudá -lo a alcançar maior eficiência, confiabilidade e sucesso em suas operações com nossas soluções avançadas de componentes do teto Aixtron G5+.

Dados de material da grafite SGL 6510:

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