Anel superior de epitaxia revestido com carboneto de silício CVD de 8 polegadas (SiC)

Principais recursos do anel superior SiC Epi de 8 polegadas

● Alta Pureza: mínimo de 99,9995%. O metal não migrará para a camada epi. Isso mantém a concentração do transportador de wafer onde precisa estar.

● Supressão de partículas: A estrutura do CVD é densa. Sem poros. Não lançará partículas enquanto a ferramenta estiver em execução. As fábricas obtêm melhores rendimentos desta forma.

● Resistência ao calor: O anel permanece estável a 1500°C. Baixo CTE (expansão térmica) significa ausência de empenamento durante ciclos rápidos de aquecimento/resfriamento.

● Estabilidade Química: O SiC CVD sólido resiste aos gases H2 e HCl. Também resiste ao NH3. Não tem revestimento para descascar. Não se degrada em ambientes severos de CVD.

● Vida útil do componente: A superfície é extremamente dura. Ele sobrevive a repetidas limpezas químicas com HF/HCl. Isso reduz a frequência de substituição. Também reduz o custo total de propriedade da fábrica.

Especificações Técnicas

A uniformidade da espessura do revestimento entre lotes é controlada em 10um

Aplicações

O anel superior CVD SiC epi é amplamente utilizado em:

● Reatores de epitaxia de silício (Si Epi)

● Epitaxia de carboneto de silício (SiC Epi)

● Sistemas MOCVD

● Equipamento de deposição de CVD

Geralmente combinado com:

● Susceptores

● Portadores de wafer

● Pré-aquecer anéis

● Reatores epitaxiais

Por que escolher o VETEK SiC Epi Top Ring?

● Capacidade total de fabricação: 

Da purificação da matéria-prima à usinagem de precisão e revestimento CVD, a VETEK controla todo o processo de produção para garantir qualidade consistente de semicondutores.

● Alta precisão: 

Usamos usinagem em nível de mícron. A espessura do CVD é muito uniforme. Isso faz com que cada anel funcione exatamente da mesma maneira.

Perguntas frequentes

(1) O que o anel superior do SiC epi faz?

O anel gerencia o fluxo de calor e gás. Isso garante que o filme fino cresça uniformemente no wafer.

(2) Por que o CVD SiC é melhor que o grafite?

A grafite é porosa. O grafite possui poros e libera gases. O CVD SiC sólido é denso e limpo. Dura muito mais tempo em ferramentas corrosivas.

(3).O anel superior SiC de 8 polegadas pode ser personalizado?

Sim. Construímos de acordo com os desenhos de sua ferramenta específica. Podemos ajustar a geometria com base no seu processo.

(4).Quais indústrias usam anéis de epitaxia de SiC?

Eles são usados ​​principalmente na fabricação de semicondutores, incluindo dispositivos de energia, dispositivos de RF e produção de wafers de SiC.