Silício na bolacha isolante

O princípio de trabalho deÉ semicondutorS.Silício na bolacha isolantedepende principalmente de sua estrutura e propriedades de material exclusivas. E Soi WaferConsiste em três camadas: a camada superior é uma camada de dispositivo de silício de cristal único, o meio é uma camada de óxido enterrado isolante (caixa) e a camada inferior é um substrato de silício de suporte.

A estrutura do silício nas bolachas isolantes (SOI)

Formação da camada de isolamento: O silício na bolacha isolante é geralmente fabricado usando a tecnologia Smart Cut ™ ou SIMOX (separação por oxigênio implantado). A tecnologia Smart Cut ™ injeta íons de hidrogênio na bolacha de silício para formar uma camada de bolhas e depois liga a bolacha injetada por hidrogênio ao silício de apoiowafer. 

Após o tratamento térmico, a bolacha injetada por hidrogênio é dividida da camada de bolhas para formar uma estrutura SOI.Tecnologia Simoximplanta os íons de oxigênio de alta energia em bolachas de silício para formar uma camada de óxido de silício a altas temperaturas.

Reduza a capacitância parasitária: A camada de caixa doWafer de carboneto de silícioisola efetivamente a camada do dispositivo e o silício de base, reducina significativamenteg Capacitância parasita. Esse isolamento reduz o consumo de energia e aumenta a velocidade e o desempenho do dispositivo.

Evite efeitos de trava: Os dispositivos n-well e P noSoi Waferestão completamente isolados, evitando o efeito de trava nas estruturas tradicionais do CMOS. Isso permiteWafer Soi a ser fabricado em velocidades mais altas.

Função de parada de gravação: Ocamada de dispositivo de silício de cristal únicoe a estrutura da camada de caixa da wafer SOI facilita a fabricação de MEMS e dispositivos optoeletrônicos, fornecendo excelente função de parada de gravação.

Através dessas características,Silício na bolacha isolantedesempenha um papel importante no processamento de semicondutores e promove o desenvolvimento contínuo do circuito integrado (IC) eSistemas Microeletromecânicos (MEMS)Indústrias. Sinceramente, esperamos mais comunicação e cooperação com você.

O parâmetro de especificação Wafers Sol 200mm SOL:

Silício nas lojas de produção de bolachas isolantes: