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Este artigo descreve principalmente a tecnologia epitaxial de baixa temperatura baseada em GaN, incluindo a estrutura cristalina dos materiais baseados em GaN, 3. Requisitos de tecnologia epitaxial e soluções de implementação, as vantagens da tecnologia epitaxial de baixa temperatura com base nos princípios de PVD e nas perspectivas de desenvolvimento da tecnologia epitaxial de baixa temperatura.
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