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Este artigo analisa as razões pelas quais o SiC cobre um material essencial para o crescimento epitaxial do SIC e se concentra nas vantagens específicas do revestimento SiC na indústria de semicondutores.

Os nanomateriais de carboneto de silício (SiC) são materiais com pelo menos uma dimensão na escala de nanômetros (1-100nm). Esses materiais podem ser zero-, um, dois ou tridimensionais e têm aplicações diversas.

O CVD SIC é um material de carboneto de silício de alta pureza fabricado pela deposição de vapor químico. É usado principalmente para vários componentes e revestimentos em equipamentos de processamento de semicondutores. O conteúdo a seguir é uma introdução à classificação do produto e funções principais do CVD SIC