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Um susceptor de grafite revestido com SiC para ASM não é apenas uma peça de reposição dentro de um sistema de epitaxia. É um transportador crítico para o processo que influencia a uniformidade térmica, a limpeza do wafer, a durabilidade do revestimento, a estabilidade da câmara e o custo de produção a longo prazo.

Uma tampa de revestimento CVD TaC não é apenas uma tampa protetora ou um componente de grafite revestido. Em processos de semicondutores de alta temperatura, pode influenciar a limpeza da câmara, a estabilidade térmica, a vida útil da peça e a consistência do processo.

Na produção de PECVD, muitos problemas de revestimento e deposição não começam com a energia do plasma ou com a química do gás. Eles começam com o transportador que contém os wafers.