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O barco de quartzo é um componente essencial de suporte de carga usado no processo de fabricação de semicondutores. É usado principalmente para o processamento de alta temperatura de bolachas, como difusão, oxidação e recozimento. Sua excelente estabilidade térmica, baixa poluição e resistência à corrosão o tornam um material indispensável na indústria de semicondutores. Este artigo elaborará o material, as propriedades físicas, a classificação, os cenários de aplicação do barco de quartzo e suas diferenças do barco de grafite PECVD.

O material do núcleo do barco de grafite PECVD é o material de grafite isotrópico de alta pureza (a pureza é geralmente ≥99,999%), que possui excelente condutividade elétrica, condutividade térmica e densidade. Comparados com barcos de grafite comuns, os barcos de grafite PECVD têm muitas vantagens de propriedades físicas e químicas e são usadas principalmente nas indústrias semicondutor e fotovoltaica, especialmente nos processos PECV e CVD.

As bandejas de grafite MOCVD desempenham um papel importante no processo epitaxial. Este artigo faz uma análise detalhada sobre a seleção de bandejas de grafite MOCVD das perspectivas das propriedades do material e dos cenários de aplicação.

Os materiais de grafite têm uma ampla gama de cenários de aplicação. Entre eles, a grafite isotrópica e a grafite siliconizada são os dois principais tipos diferentes de materiais de grafite, e suas características, cenários de aplicação e vantagens são significativamente diferentes. Este blog conduzirá uma análise comparativa de três aspectos: características estruturais, cenários de aplicação e vantagens do produto.

A cerâmica de carboneto de silício, comumente conhecida como Cerâmica do SIC, é um material versátil com propriedades únicas e uma ampla gama de aplicações em várias indústrias. A seguir, é apresentada uma discussão detalhada de sua composição material, propriedades físicas, aplicações e vantagens específicas nos processos de revestimento semicondutores e problemas comuns encontrados durante o processamento.

Este blog leva "Como a grafite porosa aprimora o crescimento de cristais de carboneto de silício?" Como tema e discute em detalhes as principais toca de grafite porosa, o papel do carboneto de silício na tecnologia de semicondutores, propriedades exclusivas da grafite porosa, como a grafite porosa otimiza o processo de PVT, as inovações em materiais de grafite porosa e outros ângulos.