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Na preparação de substratos de carboneto de silício de alta e alto rendimento, o núcleo requer controle preciso da temperatura de produção por bons materiais de campo térmico. Atualmente, os kits cadinhos de campo térmico usados ​​principalmente são componentes estruturais de grafite de alta pureza, cujas funções são para aquecer o pó de carbono fundido e o pó de silício, além de manter o calor.

Quando você vê os semicondutores de terceira geração, certamente se perguntará o que eram as primeiras e segundas gerações. A "geração" aqui é classificada com base nos materiais utilizados na fabricação de semicondutores.

O chuck eletrostático (ESC), também conhecido como Chuck eletrostático (ESC, E-Chuck), é um acessório que usa o princípio da adsorção eletrostática para segurar e consertar o material adsorvido. É adequado para ambientes de vácuo e plasma.

Os portadores de wafer da SIC, como os principais consumíveis na cadeia da indústria de semicondutores de terceira geração, suas características técnicas afetam diretamente o rendimento do crescimento epitaxial e da fabricação de dispositivos. Com a demanda crescente de dispositivos de alta tensão e alta temperatura em indústrias como estações base 5G e novos veículos de energia, a pesquisa e a aplicação de transportadores de wafer da SiC agora estão enfrentando oportunidades significativas de desenvolvimento.

A cerâmica de alumina é o "cavalo de batalha" para os componentes de cerâmica de fabricação. Eles exibem excelentes propriedades mecânicas, pontos de fusão ultra-altos e dureza, resistência à corrosão, forte estabilidade química, alta resistividade e isolamento elétrico superior. Eles são comumente usados ​​para fabricar placas de polimento, chucks a vácuo, braços de cerâmica e partes semelhantes.

Os materiais semicondutores podem ser classificados em três gerações em ordem cronológica. A primeira geração consiste em materiais elementares comuns, como germânio e silício, que são caracterizados por comutação conveniente e geralmente são usados ​​em circuitos integrados. Os semicondutores compostos de segunda geração, como arseneto de gálio e fosfeto de índio, são usados ​​principalmente em materiais luminescentes e de comunicação.