Quartz opaco fundido

O quartzo opaco fundido é feito principalmente por fusão elétrica, que usa aquecimento elétrico de alta temperatura para derreter areia de quartzo de alta pureza para produzir vidro de quartzo com um grande número de microbolhas com propriedades opacas. O quartzo fundido elétrico contém um grande número de pequenas bolhas dentro, o que o torna opaco e ajuda a refletir e dispersar calor. Além disso, possui alta resistência à temperatura, baixa condutividade térmica, boa estabilidade química, etc. Essas características fazem do quartzo opaco fundido uma escolha de material ideal para vários processos na fabricação de semicondutores. 

Atualmente, o quartzo opaco tem muitas aplicações importantes no campo dos semicondutores:

●  Tubos de forno em processos de difusão e oxidação

O quartzo opaco fundido pode ser usado como material de tubo de forno para fornos de difusão e fornos de oxidação. Sua resistência a altas temperaturas, resistência ao choque térmico e boa estabilidade química garantem que as propriedades químicas estáveis ​​possam ser mantidas em altas temperaturas, proporcionando assim um ambiente livre de poluição e garantindo a estabilidade e consistência dos processos de semicondutores.

●  Placas de máscara e materiais de isolamento

No processamento de semicondutores, o quartzo opaco fundido pode ser usado como placas de máscara e materiais de isolamento. Devido à sua opacidade e baixa transmitância de luz, pode bloquear efetivamente luz e calor desnecessários, evitando que a radiação térmica gerada no processo de dopagem e difusão de oxidação afete outras partes. Isto é especialmente importante para controlar com precisão a dopagem e proteger áreas sensíveis.

●  Cadinhos e coifas de aquecimento

Durante o processo de tração das bolachas de semicondutores, os cadinhos de quartzo fundidos são usados ​​para reter silício fundido de alta temperatura devido à sua excelente resistência de alta temperatura e baixa condutividade térmica. A baixa condutividade térmica pode reduzir a perda de calor, tornar o aquecimento mais uniforme e garantir a estabilidade do puxão de cristal único. Os capuzes de aquecimento de quartzo opacos fundidos são usados ​​para isolamento de calor, impedindo a perda de calor e melhorando a eficiência energética.

●  Materiais de suporte na deposição química de vapor (CVD)

Durante o processo de deposição química de vapor, o quartzo opaco fundido é usado como material de suporte do wafer. Sua baixa condutividade térmica e resistência a altas temperaturas ajudam a manter um campo de temperatura estável e evitam superaquecimento ou aquecimento irregular. A inércia química garante que não reagirá com gases reativos em altas temperaturas, mantendo assim a pureza e a qualidade da camada depositada.

●  Componentes de blindagem e isolamento térmico

O equipamento de fabricação de semicondutores geralmente precisa operar continuamente a altas temperaturas, e a baixa condutividade térmica e a resistência ao choque térmico do quartzo opaco fundido tornam -o um componente ideal de blindagem e isolamento de calor. O uso de quartzo opaco fundido como material de proteção térmica pode efetivamente reduzir a perda de energia e impedir que o calor do equipamento seja transferido para outras áreas, protegendo assim as peças de precisão.

●  Materiais de proteção em equipamentos de gravação e limpeza

O quartzo opaco fundido tem resistência extremamente forte a ácidos e álcalis, tornando-o um material protetor em equipamentos de gravação e limpeza de semicondutores para evitar que produtos químicos corrosivos danifiquem o equipamento. Sua inércia química também ajuda a permanecer estável em ambientes químicos agressivos e a prolongar a vida útil do equipamento.

●  Material da máscara de fotolitografia

As propriedades opacas do quartzo opaco fundido podem ser usadas como material de máscara em processos específicos de fotolitografia para ajudar a controlar com precisão a área de exposição e evitar que o excesso de luz afete áreas sensíveis do wafer.

Essas propriedades do quartzo opaco fundido o tornam um material essencial em processos de alta precisão e alta temperatura. Com o desenvolvimento contínuo de dispositivos e processos semicondutores, o quartzo opaco fundido continuará a desempenhar um papel importante na próxima geração de tecnologia de fabricação para atender a requisitos de processo mais rigorosos.

Como fornecedor e fabricante profissional de quartzo opaco fundido na China, a VeTek Semiconductor está disposta e é capaz de fornecer aos clientes quartzo opaco fundido de alta qualidade e aguarda sua consulta. Esperamos sinceramente nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

VeTek Semiconductor Propriedade física de quartzo opaco fundido

Figura a. Transmitância de quartzo opaco fundido                                                           Figura b. Reflexividade do quartzo opaco fundido

VeTek Semiconductor Lojas de quartzo opaco fundido