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Saiba como a Vetek eliminou rachaduras radiais em susceptores de grafite revestidos com SiC MOCVD de grande porte. O redesenho do amortecedor de tensão estrutural e a correspondência do CTE aumentaram a vida útil em mais de 300%.

Uma década de evolução do SiC — desde os primeiros desafios de comercialização de 4 polegadas até a atual transição do wafer de 8 polegadas. Descubra como os revestimentos CVD SiC, os materiais Solid SiC e TaC permitem a fabricação confiável de semicondutores.

Saiba como os susceptores de grafite revestidos com SiC CVD melhoram o crescimento epitaxial melhorando a uniformidade térmica, reduzindo a contaminação e prolongando a vida útil dos componentes na fabricação de SiC, GaN, LED e semicondutores de silício.