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Saiba como os anéis de grafite revestidos com carbono pirolítico (PyC) VETEK melhoram a estabilidade térmica, reduzem a contaminação e prolongam a vida útil dos componentes em processos de crescimento de cristais de SiC, epitaxia, CVD e semicondutores de alta temperatura.

Descubra como o revestimento CVD TaC melhora o crescimento de cristais de SiC e a fabricação de semicondutores com estabilidade térmica ultra-alta, resistência à corrosão, supressão de impurezas e desempenho superior em aplicações MOCVD e epitaxia.

Dê uma olhada nos principais componentes do Aixtron G10 para sistemas de epitaxia SiC de alta temperatura. Cobrimos peças de grafite revestidas com CVD SiC, componentes de revestimento TaC e estruturas de campo térmico – e como elas ajudam na estabilidade do processo, controle de pureza e rendimento de wafer na fabricação avançada de semicondutores.