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Este artigo descreve principalmente as amplas perspectivas de aplicação da cerâmica de carboneto de silício. Também se concentra na análise das causas das fissuras de sinterização em cerâmicas de carboneto de silício e nas soluções correspondentes.

A tecnologia de gravação na fabricação de semicondutores freqüentemente encontra problemas como efeito de carga, efeito de microranhura e efeito de carga, que afetam a qualidade do produto. As soluções de melhoria incluem otimizar a densidade do plasma, ajustar a composição do gás de reação, melhorar a eficiência do sistema de vácuo, projetar um layout de litografia razoável e selecionar materiais de máscara de gravação e condições de processo apropriados.