Anel de foco para gravar

Os anéis de gravação de silício monocristalino são componentes essenciais nos processos de gravação semicondutores, mantendo a estabilidade do ambiente plasmático, protegendo equipamentos e bolachas, otimizando a utilização de recursos e adaptando os requisitos avançados de processo. Seu desempenho afeta diretamente o rendimento e o custo da fabricação de chips.

O anel de foco gravado, o eletrodo e o etc (controlador de temperatura da borda) são os principais consumíveis para garantir a uniformidade do plasma, o controle de temperatura e a repetibilidade do processo. Esses componentes são montados com precisão na câmara de vácuo da DCV, gravura e equipamentos de filme e determinam diretamente a precisão e o rendimento da gravação de borda ao centro da bolacha.

Em resposta à demanda rigorosa por propriedades materiais em processos de fabricação de ponta, o veteksemi inova usando o silício monocristalino de alta pureza com uma resistividade de 10-20Ω · cm para fabricar anéis de foco e apoiar consumíveis. Através da otimização colaborativa da ciência de materiais, design elétrico e termodinâmica, o veteksemi é capaz de fabricar anéis de foco e apoiar consumíveis. Superam abrangentes soluções tradicionais de quartzo para obter melhorias inovadoras na longevidade, precisão e custo -efetividade.

Comparação de material central e otimização de resistividade

Silício monocristalino vs. Quartzo

Vantagem do núcleo do produtoe

1. Precisão do processo de nível atômico

Otimização de resistividade + polimento de ultra-precisão (RA <0,1μM) elimina a contaminação por micro-descarrega e partículas para atender aos padrões semi-F47.

A perda dielétrica (tanΔ <0,001) é altamente correspondente ao ambiente dielétrico de wafer, evitando distorção do campo elétrico de borda e suportando a gravação 3D NAND 89,5 ° ± 0,3 ° de gravação profunda vertical.

2. Compatibilidade inteligente do sistema

Integrado ao módulo de controle de temperatura da borda etc, o fluxo de ar de resfriamento é ajustado dinamicamente pelo termopar e algoritmo AI para compensar a deriva térmica da câmara.

Apoie a rede de correspondência de RF personalizada, adequada para máquinas convencionais, como as fontes de plasma AMAT Centura, Lam Research Kiyo e ICP/CCP.

3. Custo-efetividade abrangente

A vida útil do silício monocristalino é 275% maior que o de quartzo, o ciclo de manutenção é superior a 3.000 horas e o custo abrangente de propriedade (TCO) é reduzido em 30%.

Serviço de personalização de gradiente de resistividade (5-100Ω · cm), combinando com precisão a janela do processo do cliente (como a gravação de material de gap de banda larga GaN/SiC).

O efeito da resistividade

Termos comerciais do produto

Quantidade mínima do pedido	1 conjunto
Preço	Contato para cotação personalizada
Detalhes da embalagem	Pacote de exportação padrão
Prazo de entrega	Tempo de entrega: 30-35 dias após a confirmação do pedido
Termos de pagamento	T/T.
Capacidade de fornecimento	600 conjuntos/mês