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Matéria-prima SiC CVD de alta pureza 7N
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Matéria-prima SiC CVD de alta pureza 7N

A qualidade do material de origem inicial é o principal fator que limita o rendimento do wafer na produção de monocristais de SiC. O volume de SiC CVD de alta pureza 7N da VETEK oferece uma alternativa policristalina de alta densidade aos pós tradicionais, projetada especificamente para transporte físico de vapor (PVT). Ao utilizar uma forma CVD em massa, eliminamos defeitos comuns de crescimento e melhoramos significativamente o rendimento do forno. Aguardamos sua consulta.

1. Fatores essenciais de desempenho



  • Pureza de grau 7N: Mantemos uma pureza consistente de 99,99999% (7N), mantendo as impurezas metálicas em níveis ppb. Isso é essencial para o cultivo de cristais semi-isolantes de alta resistividade (HPSI) e para garantir contaminação zero em aplicações de energia ou RF.
  • Estabilidade Estrutural vs. C-Poeira: Ao contrário dos pós tradicionais que tendem a colapsar ou liberar finos durante a sublimação, nosso volume CVD de grão grande permanece estruturalmente estável. Isso evita a migração de poeira de carbono (poeira C) para a zona de crescimento – a principal causa de inclusões de cristais e defeitos de microtubos.
  • Cinética de crescimento otimizada: Projetada para fabricação em escala industrial, esta fonte suporta taxas de crescimento de até 1,46 mm/h. Isso representa uma melhoria de 2x a 3x em relação aos 0,3–0,8 mm/h normalmente alcançados com métodos convencionais à base de pó.
  • Gerenciamento de gradiente térmico: A alta densidade aparente e a geometria específica de nossos blocos criam um gradiente de temperatura mais agressivo dentro do cadinho. Isso promove uma liberação equilibrada de vapores de silício e carbono, mitigando as flutuações "rico em Si precoce/rico em C tardio" que afetam os processos padrão.
  • Otimização de carregamento do cadinho: Nosso material permite um aumento de mais de 2 kg na capacidade de carga para cadinhos de 8 polegadas em comparação com métodos em pó. Isto permite o crescimento de lingotes mais longos por ciclo, melhorando diretamente a taxa de rendimento pós-produção em direção a 100%.



Vetek CVD SiC Raw Material


1. Especificações Técnicas

Parâmetro
Dados
Base de materiais
SiC CVD policristalino de alta pureza
Padrão de Pureza
7N (≥ 99,99999%)
Concentração de nitrogênio (N)
≤ 5 × 10¹⁵ cm⁻³
Morfologia
Blocos de grãos grandes de alta densidade
Aplicação de processo
Crescimento de cristal 4H e 6H-SiC baseado em PVT
Referência de crescimento
1,46 mm/h com alta qualidade de cristal

Comparação: Pó Tradicional vs. VETEK CVD Bulk

Item de comparação
Pó de SiC Tradicional
VETEK CVD-SiC em massa
Forma Física
Pó Fino/Irregular
Blocos densos e de grãos grandes
Risco de inclusão
Alto (devido à migração de poeira C)
Mínimo (estabilidade estrutural)
Taxa de crescimento
0,3 – 0,8mm/h
Até 1,46mm/h
Estabilidade de Fase
Deriva durante longos ciclos de crescimento
Liberação estequiométrica estável
Capacidade do forno
Padrão
+2kg por cadinho de 8 polegadas


CVD SiC Raw Material for SiC Crystal Growth

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